梵 siddhi，西藏語 grub-pa。意譯作成就、妙成就。梵漢併舉而稱成就悉地、悉地成就。於密教，意指依誦持真言等，以身、口、意三密相應而成就世間、出世間種種妙果。據大日經疏卷十五載，完成正覺之階位，稱為無上悉地；達於此位之前，尚有信、入地、五通、二乘、成佛等五種悉地。對此，顯教諸師認為「信」是地前之信行，「入地」是指入於初歡喜地（相當於聲聞之入見道），「五通」是遍知世間五神通之境，至超越五通仙人位而臻第四地，「二乘」是超越二乘之境界，而至第八地，「成佛」即是由第九地修菩提道，進而完成如來位。若依密教，則初歡喜地有十心，初心至第四心為五通，第五心至第八心為二乘，第九心至第十心，即得成佛。即初地十心分三品，初四心為下品，次四心為中品，後二心為上品。

尊勝儀軌卷下更分悉地為有相、無相二種，得世間長壽或福德等，稱為有相悉地；成就出世間果德，則稱無相悉地。二悉地亦各有三品之別。若以此配於前述五種悉地及無上悉地，則有相之下悉地與中悉地相當於五種悉地之最初三種，上悉地相當於第四之二乘悉地；至於無相之下悉地則相當於有相悉地，中悉地相當於第五成佛悉地，上悉地相當於無上悉地。

日僧空海之「即身成佛義」即是將始覺因位之悉地稱作持明悉地（持明意即誦持真言）、本覺果滿之悉地稱作法佛悉地。同時，據大日經疏卷三，真言行者在觀心上所現之境，共分為三品悉地，上品安住於密嚴佛國，中品安住於十方淨土，下品安住於諸天修羅宮。

又「蘇悉地」為梵語 su-siddhi 之音譯，意譯作妙成就，即成就勝妙之義。日本台密基於三部大法之一的蘇悉地經，而說蘇悉地法，以此表金剛、胎藏兩部不二之最深秘法。［大日經卷三悉地出現品、卷五秘密漫荼羅品、如意寶珠轉輪秘密現身成佛金輪咒王經悉地成就品］ p4562