又作五大成身觀、五輪成身觀、五輪觀。為「五相成身觀」之對稱。即真言行者以 （阿）、 （鍐）、 （囕）、（唅）、 （欠）（或阿、縛、羅、賀、佉）五字，依序布置於身體之五部位，莊嚴加持己身，而為大率都婆。故又稱率都婆觀。即修顯堅固金剛之本有法身之觀法。其中，阿字為金色方形，觀作金剛輪，加持於下體，名為瑜伽座，住金剛堅固之菩提心地；鍐字為圓形白色，觀作水輪，加持於臍上，名為大悲水，能得大悲三昧；囕字為三角形，色如曉日，觀作火輪，加持於本心之位，名為智火光，能除垢穢；唅字為黑色半月形，觀作風輪，加持於眉間，名為自在力，能退惡魔；欠字為雜色團形，觀作空輪，加持於頂上，名為大空，能等同自身與法界。

五字嚴身觀為修胎藏界法道場觀之前所應修之觀法，為直往勝機之即身頓成門；若就劣機從顯入密之義，即成金剛界之五相成身觀。但依胎藏界吽字次第之說，五字但布於心，不布於身之五處。宗睿之胎藏界念誦次第卷上，則謂五字觀布於身心二者。［大日經卷五秘密漫荼羅品、卷七持誦法則品、青龍寺儀軌卷上、玄法寺儀軌卷上、大日經疏卷十四、大毗盧遮那經供養次第法疏卷下］（參閱「五輪觀」1201） p1077