【唯識三性觀】即就遍計所執性、依他起性、圓成實性等三性行唯識的觀法。此又作三性觀行、唯識觀。為顯唯識之實性，《成唯識論》卷九，就三性立真妄、真俗之二種相對；即遍計為虛妄之唯識性，依他為世俗之唯識性，圓成為真實之唯識性。亦即如《唯識二十論述記卷上》所釋，遍計所執性為虛妄之唯識；依他起性為非有似有，乃因緣所生，故為因緣之唯識，為識之相；圓成實性為真實之唯識，即識之性。所觀之境的三性既通三種唯識性，故稱唯識三性觀。修此唯識三性觀，自淺至深有五重，稱為五重唯識觀，即：一、遣虛存實識，即觀虛妄遣去所執，存留依他、圓成二性之實，此乃虛實相對之觀法。二、舍濫留純識，乃心境相對之觀法。三、攝末歸本識，乃體用相對之觀法。四、隱劣顯勝識，乃心心所相對之觀法。五、遣相證性識，乃事理相對，唯識觀之至極。參閱『三性』、『五重唯識』條。